水是人类所用于的最少见的试剂。超纯水是电子工业在晶圆洗手与生产中所用于的耗量仅次于、效用最弱的溶剂。　　在过去40年中，电子工业的发展早已推展转印至硅芯片的电路数目指数级的减少。

电路数目巨幅减少已使得线路宽度显著增大，从而大幅度提高了所用超纯水的准确和倒数测量的拒绝。　　在半导体生产工艺中，对于纯水和超纯水系统中的离子和有机污染物方面有最严苛的拒绝。

在其超纯水系统中掌控和测量这些污染物早已使半导体生产企业需要提升产品质量和生产能力。水净化处置技术发展和这些污染物检测仪器的创意在提高和检测超纯水水质方面，早已充分发挥了根本性起到。

接着这些变革又推展超纯水中的各项污染物的容许极限值大大减少。　　总有机碳（TOC）分析技术是用作监测超纯水有机污染物含量和身体健康的的超纯水系统的强有力工具。

在过去数十年间，超纯水TOC项的检测无限大减少了几个数量级，造成TOC含量检测无限大从ppb级朝ppt级发展。随着未来的新一代芯片技术预计将超过更加较宽的线宽，半导体生产企业对超纯水的拒绝不仅是更加低浓度含量的有机物和离子污染物，而且检测仪器也必须需要准确，较慢地展开检测和号召。　　在水系统中的有机物来源　　补给水是有机物的主要来源。和地下水比起地表水所含高含量的大自然分解的有机物。

但地下水源在许多地区早已耗尽。因此，高纯水水/蒸汽循环补给水的来源主要依赖地表水、再造水甚至市政污水。

更为简单的是，地表水的来源一般来说在有机物的浓度和类型上具有显著的季节性差异。水处理系统产水的有机物含量也有可能随季节大范围波动，　　在一个季节产水有机物含量较低但在另一个季节里的有机物含量有可能面对严峻考验。

　　原水水质成分的巨大变化也不会影响系统处置，比如雨季地表水一般来说所含较高的有机物成分旱季地下水的含盐量较高。可以增加给养水中的有机物含量的单元处置操作者还包括改进的絮凝处置、膜处理工艺、终端水解处置以及其他。

水处理系统必需针根据明确的水质成分和当地条件量身定做。　　有机物的第二个最重要的来源是处置系统中溶胶树脂。

却是，树脂颗粒由有机聚合物做成。树脂物理损坏分解成后沦为树脂微小颗粒，如果该树脂微小颗粒无法通过必要大小的过滤器筛目脱除就不会转入工艺系统中。树脂化学分解成后可产生微量污染物：阳离子树脂产生磺酸，阴离子树脂产生胺。

此外，痕量级树脂加工溶剂也被释放出转入系统中。这些污染物有可能在结构中还包括无机成分，如氯化物和硫酸盐。　　另外有机污染物必要来源自工艺和管网系统，还包括泵润滑油、泵密封件、打磨树脂和系统死水区。

检测机理，电导率是检测离子污染物（一般来说为矿物质）的常规和经济的监测方式。电导率可以检测出有有机酸和有机碱，但对大多数有机污染物感应器过于灵敏。基于这个原因，总有机碳（TOC）分析仪通过将有机物几乎水解成离子形式，构成碳酸，通过电导率方式来检测有机物。通过有机物水解前后的电导率的读数劣，从而构建TOC测量。

　　根据紫外线水解/电导率测量在线TOC汞灯升空出有185nm和254nm的紫外线光光，反应物，认识表面和认识时间是反应展开的推展因素必须准确地切换温度和电导率　　在超纯水系统的最后去离子工艺段后展开TOC监测十分最重要，目的是避免它们转入后序精处置和系统管网中。上游和下游产物的自行测量可以协助临床有机物有无泄漏，例如，膜故障、溶胶树脂发育或泵故障。另外，在管网系统电路展开TOC检测可以减少生产线再次发生有机物污染的风险。

　　超纯水一般来说原水为饮用水经过多级处置工序制取而得。给水中的有机混合物还包括大自然分解的有机物与人工合成的有机物。

前者主要是朱腐酸、腐殖酸和单宁酸构成一种简单的混合物，主要来自树叶和草的水解或来自泥炭或沼泽地区。此外，还有一些细菌、其他生物及其黏液产物。人工合成有机物的来源还包括工业废物和生活垃圾，如洗涤剂、溶剂和油类，再行再加农用化学品，比如化肥、除草剂和杀虫剂。

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